Program overview
晶圆划片: 是经过一系列半导体制造工艺形成极微小的电路结构,
再经切割、封装、测试成为芯片,广泛应用到各类电子设备当中。 也半导体芯片制造工艺流程中的一道必不可少的工序,
将做好芯片的整片晶圆按芯片大小分割成单一的芯片(晶粒),称之为晶圆划片。
在晶圆划片行业,一个是传统划片 具有以下特点:
● 刀片划片直接作用于晶圆表面,在晶体内部产生损伤,容易产生晶圆 崩边 及晶片 破损;
● 刀片具有所的厚度,导致刀具的划片 线宽较大;
●耗材大 ,刀片需每半个月更换一次;
● 环境 污染大,切割后的硅粉水难处理。
而
激光划片
属于非接触式加工,可以避免以上情况的发生。
typical application
Customer revenue
●激光切割/划片 采用的高光束质量的光纤激光器对芯片的电性影响小,可提高的划片成品率;
● 可以对不同厚度的晶圆进行作业,具有更好的兼容性和通用性;
● 可以切割一些较复杂的晶圆芯片,如六边形管芯等;
●不需要去离子水,不存在刀具磨损问题,并可连续24小时作业。
划片设备 | 传统划片方式(砂轮) | 激光划片方式(激光) |
切割速度 | 5-8mm/s | 1-150mm/s |
切割线宽 | 30~40微米 | 30~45微米 |
切割效果 | 易崩边,破碎 | 光滑平整,不易破碎 |
热影响区 | 较大 | 较小 |
残留应力 | 较大 | 极小 |
对晶圆厚度要求 | 100 um以上 | 基本无厚度要求 |
适应性 | 不同类型晶圆片需更换刀具 | 可适应不同类型晶圆片 |
有无损耗 | 需去离子水,更换刀具,损耗大 | 损耗很小 |
Applications